Halvleder CNC bearbejdede dele
Vi fremstiller skræddersyethalvleder CNC bearbejdede delefra kundetegninger og CAD-filer, herundervakuumkammerkomponenter, gasfordelingsplader og fittings, waferhåndterings- og fastspændingsdele, pumpe- og ventilkomponenter, RF-dele, køleplader, køleplader og processætkomponenter. Vores CNC-drejning, fræsning, 5-aksebearbejdning, schweiziske CNC- og-drejefræsefunktioner understøtter snævre tolerancekomponenter til ætsning, aflejring, litografi, ionimplantation, CMP og metrologiudstyr.
Halvlederudstyrsdele lever i en anden verden end almindelige industrielle dele: de skal overlevekrav til vakuum, ætsende procesgasser, plasma, temperaturcyklus og -partikelkontrol. Materialevalg er derfor den første beslutning i ethvert halvlederbearbejdningsprojekt. Vi bearbejder nøjagtige karakterer -316L VIM-VAR og 316L rustfrit, 6061-T6 og 7075-T6 aluminium, Grade 5 titanium, TZM molybdæn, OFHC kobber C10100, nikkellegeringer og PEEK/PTFE teknisk plast- og påfør renrums-kompatible finish, hvor applikationen kræver det. Dele er fremstillet i henhold til specificerede dimensioner, tolerancer, materialer og efterbehandlingskrav, med materialecertifikater tilgængelige på anmodning.
Fra enkelte prototyper til udvikling af nyt værktøj til gentagne produktionskørsler for ekstra processæt, vi bearbejder halvlederkomponenter til tegningen - uanset mængden.
CNC-bearbejdede dele til halvlederapplikationer
Ætse- og aflejringsudstyr
Kammerlegemer · kammerforinger · gasfordelingsplader · elektrodesamlinger · fokusringe · klemringe · bruserhovedmonteringsdele
Materialer:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Grade 5 titanium
Vakuumsystemer og gaslevering
Vakuumflanger (CF/KF/ISO) · portventilkomponenter · gasledningsfittings · VCR--type fronttætninger · manifoldblokke · pumpemonteringsdele
Materialer:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Wafer håndtering og transport
Robotarme · endeeffektorer · waferklemmer · kantgreb · kassettekomponenter · elevator- og gaffeldele · kinematiske holdere
Materialer:6061-T6 · 7075-T6 · · C17200 beryllium kobber · Grade 5 titanium
Ionimplantation & Beamline dele
Beamline-komponenter · elektroder · åbninger · undertrykkelses- og ekstraktionsdele · høje-temperaturskærme
Materialer:TZM molybdæn · Tungsten W · Ta-2,5W tantal
RF- og plasmastrømkomponenter
RF-stik · gennemføringshuse · elektrodeholdere · afskærmningsdele · kontaktfjedre
Materialer:C10100 OFHC kobber · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Termisk styring og CMP
Køleplader · kølekomponenter · køleplader · CMP-hoveddele · holderinge · stempelkomponenter
Materialer:C10100 OFHC kobber · 6061-T6 · 316L
Metrologi og inspektionsudstyr
Optiske monteringer · scenekomponenter · bundplader · justeringsbeslag · kinematiske monteringsdele
Materialer:6061-T6 · 7075-T6 · Grade 5 titanium
Vådbehandlings- og rengøringsudstyr
Tank- og badekomponenter · sprayarme · dyseholdere · rulle- og børstedele · kemikalie--bestandige fittings
Materialer:316L · Hastelloy C-276 · Grade 2 titanium
Halvleder CNC bearbejdede dele, vi fremstiller
Vakuumkammerkomponenter
Kammerlegemer, låg, foringer og monteringsringe med kontrolleret planhed, tætningsflader og lave udgasningskrav.
Materialer:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Vakuumflanger og fittings
CF (ConFlat), KF og ISO flanger, nipler, adaptere og gasledningsfittings til UHV service.
Materialer:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Gasfordelingsplader & dyser
Præcisions-borede fordelingsplader, injektordyser og monteringshardware til brusehoved.
Materialer:6061-T6 · Grade 5 titanium · 316L
Vaffelklemmer, ringe og greb
Fokusringe, klemringe, kantgreb og waferguides med stram fladhed og dimensionskontrol.
Materialer:6061-T6 · C17200 · Grade 5 titanium
Robotarme og sluteffektorer
Waferoverføringsarme, gafler og endeeffektorer med afbalanceret vægt, stivhed og partikelkontrol.
Materialer: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Pumpe og ventilkomponenter
Huse, rotorer, skovle, ventiler, sæder og spindeldele til tørre pumper, skydeventiler og masse-flowkontrolhardware.
Materialer:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Processæt og forbrugsdele
Udskiftelige sætdele designet til gentagne ordrer med ensartede tolerancer og renlighed.
Materialer:6061-T6 · Grade 5 titanium · 316L VIM-VAR
Køleplader & køleplader
Vand-afkølede plader, køleplader og køledele med fladhed-kritiske overflader.
Materialer:C10100 OFHC kobber · 6061-T6 · 316L
RF- og kontaktkomponenter
RF-huse, konnektordele, kontaktfjedre og EMI-afskærmningskomponenter.
Materialer: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Har du en brugerdefineret halvlederdel? Send din CAD-fil
CNC-bearbejdningsprocesser for halvlederdele
CNC drejning
Bedst til:Fittings · nipler · ventilstammer · pumperotorer · dyser
Ideel til cylindriske komponenter med stram koncentricitet.
CNC fræsning
Bedst til:Kammerlegemer · bundplader · manifolder · beslag
Velegnet til flade, prismatiske og multi-funktionskomponenter.
5-akset CNC-bearbejdning
Bedst til:Sluteffektorer · komplekse huse · RF-komponenter
Maskiner komplekse geometrier og sammensatte vinkler i én opsætning.
CNC-drejning-fræsning
Bedst til:Gasledningsfittings · koblingsdele med fræsede funktioner
Kombinerer drejning og fræsning til komplekse roterende dele.
Schweizisk CNC-bearbejdning
Bedst til:Små fittings · sensorkomponenter · præcisionsstifter
Designet til små, slanke og-højvolumenpræcisionskomponenter.
CNC slibning og honing
Bedst til:Tætningsflader · lejesæder · præcisionsboringer
Anvendes til kritiske diametre, pasformer og spejlfinish (Ra 0,1–0,4 μm opnåelig).
Halvleder CNC-bearbejdningsmaterialer
For halvlederkomponenter afhænger materialevalg afvakuumkompatibilitet, proceskemi, plasmaresistens, temperatur, magnetisme, partikeldannelse og termisk styring. Vi bearbejder en række metal- og tekniske plastmaterialer til kamre, gassystemer, waferhåndtering, RF og termiske dele.
| Materiale | Fælles karakterer | Typiske halvlederapplikationer | Vigtige fordele |
|---|---|---|---|
| Aluminium | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Kammerlegemer, bundplader, robotarme, køleplader, beslag | Letvægts, anodiserbar, god varmeledningsevne; 6061-T6 er arbejdshesten til kammerhardware |
| Rustfrit stål | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Vakuumflanger, gasfittings, ventildele, hardware med høj-styrke | Korrosions- og temperaturbestandighed; 316L VIM-VAR er standarden for UHV lav-udgasningstjeneste |
| Titanium | Klasse 2 (CP) · Grade 5 (Ti-6Al-4V) | Gasdistributionsdele, processæt, hardware til vådbehandling | Plasma- og kemikalieresistens, høj styrke-til-vægt, ikke-magnetisk |
| Kobber | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 beryllium kobber | RF dele, køleplader, kontaktfjedre, elektrisk hardware | Fremragende elektrisk og termisk ledningsevne; OFHC ideel til RF- og varmestyring |
| Nikkellegeringer | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Kemikalie-resistente fittings, høj-temperaturdele, metrologistrukturer | Kemisk og temperaturbestandighed; Invar 36 tilbyder næsten-nul termisk udvidelse |
Hvorfor 316L VIM-VAR?Til komponenter med ultra-højt-vakuum (UHV) bearbejder vi316L VIM-VAR- dobbelt-smeltet rustfrit med meget lavt gasindhold og indeslutninger. Den afgasser mindre, svejser mere forudsigeligt og forbliver ren ved vakuumservice. Hvis din tegning angiver VIM-VAR eller elektropoleret 316L, kan vi levere materialet med fuld certificering.
Materialevalg til støvsuger- og renrumsmiljøer
Vakuumkompatibilitet og afgasning
Materialer inde i kammeret må ikke udgasse eller fange partikler. 316L VIM-VAR, 6061-T6 er almindelige valg; porøsitet og overfladefinish kontrolleres for at holde afgasningen lav.
Kemikalie- og plasmaresistens
Halogen og fluorerede procesgasser angriber mange metaller. TZM molybdæn, Ta-2.5W, Hastelloy C-276, Grade 5 titanium er udvalgt til ætsende kemi og plasmaeksponering.
Partikel- og forureningskontrol
Slid, kanter og fanget affald genererer partikler, der dræber udbyttet. Vi afgrater hver kant, kontrollerer overfladens ruhed og rengør dele til renrumsstandarder før emballering.
Termisk styring
Varme påvirker procesens ensartethed. C10100 OFHC kobber og 6061-T6 bruges til at køle plader og køleplader; TZM og wolfram håndterer højtemperatur beamline og kammerdele.
Magnetiske og elektriske egenskaber
Nogle processer kræver ikke-magnetiske materialer såsom 316L, Grade 5 titanium; RF og jording hardware bruger OFHC kobber C10100 og beryllium kobber C17200.
Præcision og stabilitet
Metrologi- og litografidele har brug for dimensionsstabilitet: 6061-T6 og 7075-T6 aluminium, grad 5 titanium holder geometrien gennem temperaturændringer.
Halvleder CNC-bearbejdningstolerancer og specifikationer
Halvlederkomponenter kræver ofte mikron-nøjagtighed på tætningsflader, monteringsdatums, wafer-kontaktflader og præcisionsboringer, så værktøjer samles korrekt, og processer forbliver gentagelige.
| Specifikation | Typisk evne | Typiske halvlederapplikationer |
|---|---|---|
| Lineære dimensioner | ±0,01 mm (præcision til ±0,005 mm) | Kammerdele, bundplader, manifolder |
| Boring & akseldiameter | ±0,005–0,01 mm | Pumperotorer, ventilstammer, præcisionsfittings |
| Fladhed | Ned til 0,01 mm/100 mm | Tætningsflader, køleplader, kinematiske beslag |
| Koncentricitet / Runout | Ned til 0,01 mm | Roterende pumpedele, koblinger |
| Sand position | ±0,01 mm | Bolte-hulmønstre, gasfordelingshuller |
| Overfladeruhed | Ra 0,2-0,8 μm standard; Ra 0,1–0,4 μm på forespørgsel | Tætningsflader, wafer-kontaktflader, kammerinteriør |
| Kantafgratning | Styres pr. tegning (mikro-afgrater tilgængelig) | Alle partikel-kritiske dele |
| Trådtolerance | I henhold til ISO/ASME krav | Fittings, flanger, monteringsbeslag |
Kritiske funktioner, vi kontrollerer
Forsegling og O-ringriller- kontrolleret dybde, bredde og overfladefinish til vakuum- og væskeforseglinger.
Wafer-kontaktflader- planheds- og ruhedskontrol for at undgå waferskader og partikeldannelse.
Præcisionsboringer og -pasninger- nøjagtige boringer til lejer, aksler og tryk-komponenter.
Gasfordelingshuller- nøjagtig hulstørrelse, position og afgratning for ensartet gasstrøm.
Datum og monteringsfunktioner- konsekvente datums for gentagelig samling og justering.
Overfladefinish til halvleder CNC-dele
Overfladefinish er en del af forurenings- og korrosionsstrategien i halvlederudstyr. Den rigtige finish kontrollerer partikler, afgasning, kemisk resistens og elektrisk adfærd.
| Overfladefinish | Anvendelige materialer | Typiske halvlederdele | Hovedfordel |
|---|---|---|---|
| Elektropolering | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Vakuumflanger, gasledninger, kammerforinger | Fjerner overflademateriale og indeslutninger; reducerer afgasning og partikelfangning |
| Passivering | 316L · 304L · 17-4 PH | Fittings, fastgørelseselementer, ventildele | Fjerner frit jern, forbedrer korrosionsbestandigheden |
| Type II anodisering | 6061-T6 · 6063-T5 | Kammerlegemer, bundplader, beslag | Isolerende,-korrosionsbestandigt lag; farvemuligheder |
| Hård anodisering (Type III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Slidflader, guider, robotdele | Hårdt, slidbestandigt-beskyttelseslag |
| Elektroløs fornikling | 6061-T6 · 7075-T6 · Stål | Kammerhardware, processætdele | Ensartet slid- og korrosionsbeskyttelse |
| Guldbelægning | C10100 · C11000 · 6061-T6 | RF-kontakter, stikdele | Lav kontaktmodstand, korrosionsbeskyttelse |
| Blikbelægning | C10100 · C11000 | Elektriske ledere, samleskinner | Loddebarhed og korrosionsbeskyttelse |
| Perleblæsning | 6061-T6 · 316L · Stål | Huse, dæksler, ikke-kritiske overflader | Ensartet mat finish (kontrolleret til partikelfrigivelse) |
| Renrum rengøring | Alle materialer | Alle dele før emballering | Multi-ultralydsrensning, ingen olie, ingen rester, partikel-kontrolleret |
Halvleder CNC-bearbejdning kvalitetskontrol
Vi inspicerer kritiske dimensioner, tilpasninger, planhed, udløb og overfladekrav gennem hele produktionen for at sikre, at CNC-bearbejdede halvlederdele opfylder tegningen. Til projekter, der kræver dokumenteret kvalitet, kan vi levere materialecertifikater, dimensionsrapporter og renhedsdokumentation til støtte for dit indgående eftersyn.
Materiale verifikation
Materiale verifikation
Dimensionel inspektion
GD&T inspektion
Trådinspektion
Inspektion af overfladefinish
Afsluttende inspektion
Emballageinspektion
| Inspektionsvare | Udstyr / Metode | Typiske halvlederdele |
|---|---|---|
| Dimensionel inspektion | CMM · Kaliber · Mikrometer | Overordnede deldimensioner |
| Boring & akseldiameter | Boremåler · Pinsmåler · CMM | Pumperotorer, ventilstammer, fittings |
| Fladhed & Parallelisme | Overfladeplade · CMM | Tætningsflader, køleplader |
| Sand position | CMM | Hulmønstre, gasfordelingsplader |
| Overfladeruhed | Ruhedstester | Tætningsflader, wafer-kontaktflader |
| Trådinspektion | Go/No-Go trådmålere | Beslag og befæstelser |
| Materiale verifikation | Spektrometer + materialecertifikat | Indgående råmateriale (EN 10204 3.1 tilgængelig; VIM-VAR-certificering på anmodning) |
| Renlighedstjek | Visuel + partikelkontrol på anmodning | Renrums-leverede dele |
| Afsluttende inspektion | CMM + Inspektionsrapport | Endelig dimensionel accept |
Har du brug for dokumenteret kvalitetskontrol?Send os dine tegninger og inspektionskrav.
Prototype og lav-volumen CNC-bearbejdning til halvledere
Halvlederprojekter starter ofte med prototyper - nye værktøjsdesigns, udvikling af processæt, opgraderingsdele eller udskiftningskomponenter, der skal valideres før produktion. Vi støtterprototype og lav-volumen CNC-bearbejdningfra indledende prøver til gentagne små-batchordrer.
Prototype bearbejdning
Til udvikling af nyt værktøj, procesvalidering og designændringer.
Typisk mængde:1-10 stk
Lav-produktion
Til pilotsystemer, værktøjsopgraderinger og indledende produktionskørsler.
Typisk mængde:10–1,000+ stk
Gentag produktion
Til ekstra processæt og tilbagevendende ordrer med etablerede designs.
Typisk mængde:Baseret på projektkrav
Velegnet til
Vakuum kammer og gas levering hardware
Waferhåndtering og fastspændingskomponenter
Ætse-, aflejrings- og ionimplantationsdele
RF, elektriske og termiske styringsdele
Metrologi og inspektionsarmaturer
Reservedele og processæt til eksisterende værktøj
Emballage og leveringstid for halvleder CNC-dele
Emballage
Individuel beskyttelse:PE poser, skum eller beskyttelsesfilm til bearbejdede overflader
Renrumsemballage:Rensede dele i dobbelt-pose i rene poser (nitrogen-udrensningsmulighed tilgængelig)
Små dele:Opdelte kartoner for at forhindre ridser og del{0}}til-kontakt
Præcisionsdele:Skumindsatser og separate rum til kritiske komponenter
Brugerdefineret emballage:Varenumre, etiketter, mængder og kundespecifikke-pakkekrav
Typisk leveringstid
| Ordretype | Typisk leveringstid |
|---|---|
| Prototype | 5-10 hverdage |
| Lav-lydstyrkerækkefølge | 10-20 hverdage |
| Produktionsordre | 15-30 hverdage |
| Gentag ordre | 10-25 hverdage |
FAQ
Spørgsmål: Hvilke halvledere CNC-bearbejdede dele kan du fremstille?
A: Vi fremstiller brugerdefinerede vakuumkammerkomponenter, flanger og gasledningsfittings, gasfordelingsplader, waferklemmer og ringe, robotarmdele, pumpe- og ventilkomponenter, ionimplantator-strålelinjedele, RF-komponenter, køleplader, køleplader og processætdele til halvlederudstyr.
Spørgsmål: Hvilke CNC-bearbejdningstolerancer kan du opnå?
A: Vores standard CNC-tolerance er typisk ±0,05 mm, med præcisionsbearbejdning ned til ±0,02 mm og udvalgte kritiske funktioner til ±0,005–0,01 mm, afhængigt af geometri, materiale og tegningskrav.
Sp.: Kan du levere 316L VIM-VAR til vakuumkomponenter?
A: Ja. Til ultra-høj-vakuumservice kan vi bearbejde 316L VIM-VAR (vacuum induction melted and vacuum arc remelted) med lavt gasindhold, leveret med materialecertificering. Elektropolering er tilgængelig for reduceret afgasning og partikelfangning.
Spørgsmål: Tilbyder du renrums-kompatibel rengøring og emballering?
A: Ja. Dele kan rengøres med ultralyd i flere-trin, tørres og pakkes i dobbelt-sække i rene poser (nitrogenudskylning valgfri) for at holde overflader partikelfri- til levering i renrum.
Q: Kan du levere materialecertifikater og inspektionsrapporter?
A: Ja. Afhængigt af projektets krav kan vi levere materialecertifikater (EN 10204 3.1, inklusive VIM-VAR-certificering), dimensionsinspektionsrapporter, CMM-rapporter og overfladefinishregistreringer.
Sp.: Kan du bearbejde ikke-magnetiske komponenter?
A: Ja. Vi bearbejder ikke-magnetiske kvaliteter, herunder 316L rustfrit, Grade 5 titanium, aluminium 6061-T6 og PEEK til applikationer, hvor magnetisme skal undgås.
Q: Hvilken overfladefinish anvender du på halvlederdele?
A: Afhængigt af materiale og anvendelse tilbyder vi elektropolering, passivering, Type II og Type III hård anodisering, strømløs fornikling, guld- og tinbelægning, perleblæsning og renrumsrensning.
Q: Accepterer du 2D-tegninger og CAD-filer?
A: Vi kan arbejde ud fra almindelige STEP-, STP-, IGES-, IGS-, SolidWorks-, DXF- og 2D-tegnefiler.
Spørgsmål: Understøtter du prototype og lav-volumenproduktion?
A: Ja. Vi understøtter prototypemængder fra 1-10 styk, lav-produktion fra 10-1,000+ styk samt gentagne produktionsordrer for processæt og reservedele.
Q: Hvad er den typiske gennemløbstid for halvleder CNC dele?
A: Typiske leveringstider er 5-10 arbejdsdage for prototyper, 10-20 arbejdsdage for ordrer med lavt-volumen og 15-30 arbejdsdage for produktionsordrer, afhængigt af delens kompleksitet, mængde, materiale og efterbehandling.
Send din 2D-tegning eller 3D CAD-fil, materialekvalitet, mængde, tolerance og efterbehandlingskrav.
Populære tags: halvleder cnc bearbejdede dele, Kina halvleder cnc bearbejdede dele producenter, leverandører, fabrik, titanium
Et par af
NejDu kan også lide
Send forespørgsel